通常掃描電鏡廠(chǎng)家提供空白測試報告，明確規定了檢測項目、指標和檢測方法，可以從易到難逐項檢測。有的廠(chǎng)方還提供儀器出廠(chǎng)檢測報告作為參考。用戶(hù)把實(shí)測結果與技術(shù)指標相對照，如果合格就在對應項目欄標“OK”。逐項實(shí)測核對完成后，如果用戶(hù)沒(méi)有疑義，雙方在檢測報告上簽字。電鏡調試和測試的周期長(cháng)短取決于電鏡本身的質(zhì)量和廠(chǎng)方工程師的技術(shù)水平。另外，場(chǎng)發(fā)射要比常規電鏡調試驗收復雜得多，其中電子槍烘烤至少需用2~3天時(shí)間，一周內能把技術(shù)指標測試完畢，就算很順利了。

　　掃描電鏡有多項性能和技術(shù)指標，例如：分辨率、放大倍率誤差、低倍畸變、束流穩定性、樣品污染率、真空度、換樣品抽真空時(shí)間、開(kāi)機到工作抽真空時(shí)間、樣品臺位移距離等，這些均有量化指標。這里重點(diǎn)討論分辨率。

　　分辨率是電鏡的重要指標，它反映了儀器的綜合性能。各種類(lèi)型的電鏡分辨率不同，表示儀器進(jìn)入做微觀(guān)領(lǐng)域的尺度有差異，這也是不同檔次電鏡的賣(mài)點(diǎn)。用戶(hù)很關(guān)心這個(gè)指標是否符合要求。對于廠(chǎng)方工程師，拍攝分辨率照片也是一項技術(shù)挑成，他要把電鏡各個(gè)環(huán)節調整到佳態(tài)，選用幾乎極限的操作條件，反復拍照，直到拿出滿(mǎn)意照片，上左圖所示為高分辨率照片，碳上的鍍金顆粒，放大倍率30萬(wàn)倍、加速電壓5kV、工作距離5mm、束斑選取1，已是最小的尺寸。

　　1.分辨率標樣

　　標樣為碳臺上的鍍金顆粒，這種標樣的優(yōu)點(diǎn)如下：碳與金的原子序數相差大，標樣木身的自然襯度高，便于電鏡選擇最小束斑進(jìn)行高分辨成像;標樣導電導熱性能好，對電子束穩定;金顆粒尺寸2nm~30nm，適用于放大倍數5萬(wàn)倍以上的圖像。這種標樣已被各個(gè)電鏡公司采用。

　　另外一種標樣是碳臺上的錫球，樣品自然襯度高;比金顆粒更耐電子束輻照，高倍時(shí)在某一個(gè)部位反復消像散和聚焦，錫球不會(huì )污染變黑;錫球尺寸3nm~30um，這樣寬的尺寸范圍適用于放大倍率從低到高校準儀器，圓球便于消除像散。

　　通?？梢园堰@兩個(gè)標樣同時(shí)放入電鏡，先利用錫球調整儀器，再用金顆粒拍分辨率照片，上右圖為錫球高倍照片，放大倍率10萬(wàn)倍、加速電壓15kV、工作距離5mm、束斑取3，可見(jiàn)許多直徑不等的錫球。

　　2.分辨率評定

　　分辨率照片為金顆粒的二次電子像，拍攝條件各公司略有不同，場(chǎng)發(fā)射電鏡放大倍率選20萬(wàn)倍或30萬(wàn)倍;加速電壓15kV~30kV;工作距離2mm~5mm。對于常規鎢燈絲電鏡放大倍率只選10萬(wàn)倍。金顆粒圖像邊緣要清晰，沒(méi)有明顯像散。

　　如何評定是否達到分辨率要求(例如場(chǎng)發(fā)射電鏡為1nm，常規電鏡為3nm)?有幾種方法：傳統方法是在光學(xué)比長(cháng)儀或讀數顯微鏡下測量照片上兩個(gè)相近顆粒的間距，除以圖像放大倍率?，F在電鏡有尺度測量功能，在圖像上直接測量顆粒大小或者兩個(gè)相近顆粒的間距，這兩種方法均會(huì )引入操作者的瞄準誤差，測試結果有時(shí)會(huì )有爭議;有的電鏡具備分辨率檢測功能，利用圖像分析程序自動(dòng)給出顆粒的最小間距，結果無(wú)可爭議。如果嚴格要求，分辨率測定應該在圖像的三個(gè)不同方向上均予滿(mǎn)足。

　　分辨率檢測還有低加速電壓的規定，場(chǎng)發(fā)射電鏡在1kV、20萬(wàn)倍或10萬(wàn)倍下拍照，分辨率指標為2nm;常規電鏡在3kV、5萬(wàn)倍下拍照，分辨率要求5nm。

　　掃描電鏡背散射電子像和低真空壓力像的分辨率，可以根據廠(chǎng)家的技術(shù)要求檢測，后者有的廠(chǎng)家不作為驗收指標。